《内蒙古科技大学学报》(CN:15-1357/N)是一本有较高学术价值的大型季刊,自创刊以来,选题新奇而不失报道广度,服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。
《内蒙古科技大学学报》主要报道地质采矿、冶金化工、材料、机电、工业自动化与计算机、土木建筑、环境工程与保护、节能、工业经济与管理以及基础学科领域的学术论文、学术报告、综合评述和科技信息,择优刊登国家和省、部级基金项目的研究论文或简报。
作者:刘学杰,乔海懋 | 第一性原理迁移吸附si掺杂金刚石膜
摘要:采用第一性原理计算和实验研究了Si掺杂金刚石薄膜的形成过程.运用第一性原理计算了Si粒子在具有活性位的氢终止金刚石(001)表面上的吸附能和迁移激活能.结果表明,Si粒子在该表面上吸附能和迁移激活能均为3.0—4.7eV.因此,Si粒子可以在氢终止金刚石表面活性位上吸附并形成稳定结构.采用微波等离子化学气相沉积方法制备了Si掺杂金刚石薄膜,电子扫描电镜检测验证了理论计算结果.
注:因版权方要求,不能公开全文,如需全文,请咨询杂志社